(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221231184.9 (22)申请日 2022.05.19 (73)专利权人 宁夏盾源聚芯 半导体科技股份有 限公司 地址 750000 宁夏回族自治区银川市经济 技术开发区光明西路23号 (72)发明人 丁亚国　李玲玲　吴彦飞　马全森　 姜永庆　陈荣贵　顾燕滨　李长苏　 贺贤汉　 (74)专利代理 机构 宁夏三源鑫知识产权代理事 务所(普通 合伙) 6410 5 专利代理师 杜振学 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01)F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 硅环承载花篮 (57)摘要 本实用新型提供一种硅环承载花篮， 包括支 撑架和滚轮， 支撑架的底部安装两个滚轮， 两个 滚轮之间预设间距， 每个滚轮上设置凹槽， 凹槽 沿着滚轮的周侧环绕设置， 支撑架的两端各设置 一个第一U型槽， 两个第一U型槽均位于凹槽的上 方， 两个凹槽和两个第一U型槽将需要风淋的硅 环夹持固定， 然后进行风淋干燥， 从而实现了降 低操作者因手持硅环进行风淋的劳动强度， 且提 升风淋效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217963860 U 2022.12.06 CN 217963860 U 1.一种硅环承载花篮， 其特征在于， 包括支撑架和滚轮， 支撑架内部设置放置硅环的容 置空间， 支撑架的底部安装两个滚轮， 两个滚轮之间间隔设置， 每个滚轮上设置凹槽， 凹槽 沿着滚轮的周侧环绕设置， 支撑架的两端各设置一个第一U型槽， 两个第一U型槽均位于凹 槽的上方， 两个凹槽和两个第一U型槽将需要风淋的硅环夹持固定 。 2.如权利要求1所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 两个凹槽的中心线和两个第一U型 槽的中心线处于同一竖直 面上。 3.如权利要求1所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 支撑架包括第一支撑部、 第二支撑 部和多个连接部， 第一支撑部和 第二支撑部的形状相同， 第一支撑部的两端上翘， 第二支撑 部的两端上翘， 每个连接部的一端和第一支撑部固定连接， 每个连接部的另一端和第二支 撑部固定连接， 连接在第一支撑部两端的连接部设置第一U型槽， 两个第一U型槽的槽口均 朝支撑架内部设置 。 4.如权利要求3所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 第一支撑部包括第一底部、 第一延 伸臂和第二延伸 臂， 第一延伸 臂和第二延伸臂分别自第一底部两端朝上延伸设置， 第二支 撑部包括第二底部、 第三延伸 臂和第四延伸臂， 第三延伸臂和第四延伸臂分别自第二底部 两端朝上延伸设置 。 5.如权利要求4所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 第一底部为直板状， 第二底部为直 板状， 两个滚轮的一端安装在第一底部上， 两个滚轮的另一端安装在第二底部上。 6.如权利要求5所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 第一底部的外侧壁设置第一稳固 件， 第二底部的外侧壁设置第二稳固件。 7.如权利要求6所述的硅环承载花篮， 其特征在于， 第一稳固件上设置第一固定孔， 第 二稳固件上设置第二固定孔。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217963860 U 2硅环承载花篮 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体加工技 术领域， 具体涉及一种硅环承载花篮。 背景技术 [0002]在等离子体刻蚀硅片时， 承载硅片的硅环也会受到等离子体的刻蚀作用， 若硅环 的表面存在损伤的话， 在刻蚀过程中会产生各种杂质， 对刻蚀的硅片 造成沾污， 影响最 终产 品的良率， 因此一般需要对硅环的表面粗糙度进行严格管控， 所以硅环在加工过程中需要 经过洗净、 抛光工序， 来去除硅环表 面的杂质元素及污染物。 洗净工序具体为将硅环置于氢 氟酸、 盐酸及硝酸的混合酸中去除硅环表面的金属杂质及氧化层， 洗净工序后要对硅环进 行风淋， 以吹干硅环表面混合酸的残留， 现有技术中都是通过人工手持硅环进 行风淋， 时间 久了手持的操作者会 胳膊酸疼， 也存在浪费人力的问题。 实用新型内容 [0003]有鉴于此， 本实用新型提供一种硅环承载花篮， 以解决现有技术中通过人力手持 进行风淋导 致浪费人力及增 加劳动量的问题。 [0004]一种硅环承载花篮， 包括支撑架和滚轮， 支撑架内部设置放置硅环的容置空间， 支 撑架的底部安装两个滚轮， 两个滚轮之 间间隔设置， 每个滚轮上设置凹槽， 凹槽沿着滚轮的 周侧环绕设置， 支撑架的两端 各设置一个第一U 型槽， 两个第一U 型槽均位于凹槽的上方， 两 个凹槽和两个第一U型槽将需要风淋的硅环夹持固定 。 [0005]优选的， 两个凹槽的中心线和两个第一U型槽的中心线处于同一竖直 面上。 [0006]优选的， 支撑架包括第一支撑部、 第二支撑部和多个连接部， 第一支撑部和第二支 撑部的形状相同， 第一支撑部的两端 上翘， 第二支撑部的两端 上翘， 每个连接部的一端和 第 一支撑部固定连接， 每个连接部的另一端和第二支撑部固定连接， 连接在第一支撑部两端 的连接部设置第一U型槽， 两个第一U型槽的槽口均朝支撑架内部设置 。 [0007]优选地， 第一支撑部包括第一底部、 第一延伸臂和第二延伸臂， 第一延伸臂和第二 延伸臂分别自第一底部两端朝上延伸设置， 第二支撑部包括第二底部、 第三延伸 臂和第四 延伸臂， 第三延伸臂和第四延伸臂分别自第二底部 两端朝上延伸设置 。 [0008]优选地， 第一底部为直板状， 第二底部为直板状， 两个滚轮的一端安装在第一底部 上， 两个滚轮的另一端安装在第二底部上。 [0009]优选地， 第一底部的外侧壁设置第一稳固件， 第二底部的外侧壁设置第二稳固件。 [0010]优选地， 第一稳固件上设置第一固定孔， 第二稳固件上设置第二固定孔。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果在于： [0012]将硅环进行风淋时， 将硅环竖向放置于硅环承载花篮内， 硅环的下边沿分别位于 滚轮的两个凹槽内， 硅环的两侧的边沿分别位于两个第一U 型槽内， 硅环被稳定的夹持在硅 环承载花篮内再进行风淋， 从而实现了降低操作者因手持硅环进行风淋的劳动 强度， 且提 升风淋效率。说　明　书 1/3 页 3 CN 217963860 U 3