(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221340170.0 (22)申请日 2022.05.31 (73)专利权人 盐城市锐克斯研磨科技有限公司 地址 224000 江苏省盐城市 盐都区秦 南镇 工业园区内旭日路18号 （L） (72)发明人 王志成　黄科　 (74)专利代理 机构 盐城平易 安通知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32448 专利代理师 陈彩芳 (51)Int.Cl. B65G 49/07(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B65G 47/28(2006.01) B24B 41/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机 构 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于大直径硅片的 研磨材料的传动机构， 包括两个固定板和研磨 器， 两个所述固定板之间共同固定连接有传动机 构， 两个所述固定板左端上部共同固定连接有安 装架， 所述安装架右端固定连接有两个一号风 机， 所述传动机构外表面穿插连接有传送带， 两 个所述固定板靠近传送带的一端均固定连接有 毛刷， 所述传送带与两个毛刷齐平， 两个所述固 定板上端共同固定连接有除尘机构， 所述研磨器 左端上部固定连接有进料口， 所述研磨器右端固 定连接有出料口， 所述出料口位于传送带上方并 位于两个一号风机右侧且均不接触。 本实用新型 所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动 机构， 除尘效果好， 传输效果佳， 适合硅片传输使 用。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217971606 U 2022.12.06 CN 217971606 U 1.一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 包括两个固定板(1)和研磨器(2)， 其 特征在于： 两个所述固定板(1)之间共同固定连接有传动机构(3)， 两个所述固定板(1)左端 上部共同固定连接有安装架(4)， 所述安装架(4)右端固定连接有两个一号风机(5)， 所述传 动机构(3)外表 面穿插连接有传送带(6)， 两个所述固定板(1)靠近传送带(6)的一端均固定 连接有毛刷(7)， 所述传送带(6)与两个毛刷(7)齐平， 两个所述固定板(1)上端共同固定连 接有除尘机构(8)， 所述研磨器(2)左端上部固定连接有进料口(9)， 所述研磨器(2)右端固 定连接有出料口(10)， 所述出料口(10)位于传送带(6)上方并位于两个一号风机(5)右侧且 均不接触。 2.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 其特征在于： 所 述传动机构(3)包括两个电机(31)和三个振动组(32)， 两个所述电机(31)输出端均固定连 接有传动轮(33)， 两个所述传动轮(33)与两个电机(31)之间均固定连接有传动齿轮(34)， 两个所述传动齿轮(34)外表面共同卡接有 齿带(35)。 3.根据权利要求2所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 其特征在于： 三 个所述振动组(32)均与齿带(35)卡接， 两个电机(31)均与前侧固定板(1)固定连接且两个 电机(31)输出端均贯穿前侧固定板(1)， 两个所述传动齿轮(34)分别与两个传动轮(33)固 定连接且与两个电机(31)均不接触， 所述齿带(35)与前侧固定板(1)和传送带(6)均不接 触， 两个所述传动轮(3 3)和三个振动组(32)均 与两个固定 板(1)通过轴承活动连接 。 4.根据权利要求2所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 其特征在于： 所 述振动组(32)包括固定杆(321)， 所述固定杆(321)外表面固定连接有连接齿轮(323)和三 个振动块(322)， 所述连接齿轮(323)位于三个振动块(322)前部且 连接齿轮(323)和三个振 动块(322)均互不接触， 所述连接齿轮(323)与齿带(35)卡接， 所述固定杆(321)与两个固定 板(1)通过轴承活动连接 。 5.根据权利要求1所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 其特征在于： 所 述除尘机构(8)包括箱体(81)， 所述箱体(81)内前壁固定连接有三个二号风机(82)， 所述箱 体(81)上端开有三个安装槽(83)， 三个所述安装槽(83)内均穿插连接有过滤板(84)， 所述 箱体(81)右端开有 若干个出风口(85)。 6.根据权利要求5所述的一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 其特征在于： 三 个所述过滤板(84)位于箱 体(81)内部且与三个二号风机(82)均不接触， 所述箱体(81)与两 个固定板(1)共同固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217971606 U 2一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及研磨材料加工技术领域， 特别涉及一种用于大直径硅片的研磨材 料的传动机构。 背景技术 [0002]硅片， 是制作集成电路的重要材料， 通过对硅片进行光刻、 离子注入等手段， 可以 制成各种半导体器件， 用硅片制成的芯片有着惊人 的运算能力， 科学技术的发展不断推动 着半导体的发展， 自动化和 计算机等技术发展， 使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价 已降到十分低廉的程度， 这使得硅片已广泛应用于航空航天、 工业、 农业和国防， 甚至悄悄 进入每一个家庭， 在现有的用于大直径硅片的研磨材料的传动机构 中至少有以下弊端： 1、 现有的用于大直径硅片的研磨材料 的传动机构， 硅片容易卡在传动机构上形成堆积， 影响 正常的传输； 2、 现有的用于大直径硅片的研磨材料的传动机构不具备除尘功能， 研磨后的 硅片会粘附有粉末， 不仅影响工作环境， 对下一步的研磨也有影响， 故此， 我们推出一种新 的用于大直径硅片的研磨材 料的传动机构。 实用新型内容 [0003]本实用新型的主要目的在于提供一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 可 以有效解决背景技 术中的问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型采取的技 术方案为： [0005]一种用于大直径硅片的研磨材料的传动机构， 包括两个固定板和研磨器， 两个所 述固定板之间共同固定连接有传动机构， 两个所述固定板左端上部共同固定连接有安装 架， 所述安装架右端固定连接有两个一号风机， 所述传动机构 外表面穿插连接有传送带， 两 个所述固定板靠近传送带 的一端均固定连接有毛刷， 所述传送带与两个毛刷齐平， 两个所 述固定板上端共同固定连接有除尘机构， 所述研磨器左端上部固定连接有进料 口， 所述研 磨器右端固定连接有 出料口， 所述出料口位于传送带上方并位于两个一号风机右侧且均不 接触。 [0006]优选的， 传动机构包括两个电机和三个振动组， 两个所述电机输出端均 固定连接 有传动轮， 两个所述传动轮与两个电机之间均固定连接有传动齿轮， 两个所述传动齿轮外 表面共同卡接有 齿带。 [0007]优选的， 三个所述振动组均与齿带卡接， 两个电机均与前侧固定板固定连接且两 个电机输出端均贯穿前侧固定板， 两个所述传动齿轮分别与两个传动轮固定连接且与两个 电机均不接触， 所述齿带与前侧固定板和传送带均不接触， 两个所述传动轮和三个振动组 均与两个固定 板通过轴承活动连接 。 [0008]优选的， 所述振动组包括固定杆， 所述固定杆外表面固定连接有连接齿轮和三个 振动块， 所述连接齿轮位于三个振动块前部且连接齿轮和 三个振动块均 互不接触， 所述连 接齿轮与齿带卡接， 所述固定杆与两个固定 板通过轴承活动连接 。说　明　书 1/4 页 3 CN 217971606 U 3