(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告 号
(45)授权公告日
(21)申请 号 202222524676.3
(22)申请日 2022.09.23
(73)专利权人 福州市诺兴光电材 料有限公司
地址 350301 福建省福州市福清市石 竹街
道福玉路26号厦门大 学科技园三 号楼
(72)发明人 赵小虎 洪精华
(74)专利代理 机构 常州迈威专利代理事务所
(普通合伙) 32587
专利代理师 艾秀丽
(51)Int.Cl.
B05B 13/02(2006.01)
B05B 16/20(2018.01)
B05D 3/04(2006.01)
(54)实用新型名称
一种金属靶材表面处 理用喷涂装置
(57)摘要
本实用新型涉及金属靶材加工设备技术领
域, 具体为一种金属靶材表面处理用喷涂装置,
包括箱体, 所述箱体底端两侧设置有支脚, 所述
箱体内部一侧设置有第一电机, 所述第一电机输
出端设置有螺纹杆, 所述螺纹杆上设置有移动
块, 所述移动块一侧设置有导流板, 所述导流板
上设置有喷头, 所述箱体内部顶端一侧设置有漆
体罐, 所述漆体罐一侧设置有喷涂机, 通过电动
伸缩杆的设置, 能够便于对金属靶材进行夹持,
方便进行喷涂, 只需要将金属靶 材放置在旋转台
上, 然后开启电动伸缩杆, 电动伸缩杆一端带动
夹板, 夹板对于金属靶材进行夹持固定, 提高便
捷性, 而且通过风机的设置, 能够快速的对喷涂
后的金属靶 材进行冷却风干, 提高喷涂效率与质
量。
权利要求书1页 说明书3页 附图2页
CN 218132754 U
2022.12.27
CN 218132754 U
1.一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 包括箱体(1), 所述箱体(1)底端两
侧设置有支脚, 所述箱体(1)内部一侧设置有第一电机(2), 所述第一电机(2)输出端设置有
螺纹杆(3), 所述螺纹杆(3)上设置有移动块(4), 所述移动块(4)一侧设置有导流板(5), 所
述导流板(5)上设置有喷头(6), 所述箱体(1)内部顶端一侧设置有漆体罐(9), 所述漆体罐
(9)一侧设置有喷涂机(10), 所述喷涂机(10)上设置有 连接软管(11), 所述连接软管(11)一
端与漆体罐(9)连接, 所述连接软管(11)另一端与导流板(5)连接, 所述漆体罐(9)顶端设置
有进料管, 所述箱体(1)内部顶端另一侧设置有伸缩气缸(12), 所述伸缩气缸(12)顶端一侧
设置有挡板(13), 所述箱 体(1)内部左侧设置有风机(14), 所述风机(14)一侧设置有固定管
(15), 所述固定管(15)一端设置有导风板(16), 所述导风板(16)一侧设置有出风管(17), 所
述箱体(1)内部底端设置有第二电机(18), 所述第二电机(18)输出端设置有旋转台(19), 所
述旋转台(19)顶端两侧设置有电动伸缩杆(20), 所述电动伸缩杆(20)一端设置有夹板
(21), 所述箱体(1)外 部设置有箱门(23)。
2.根据权利要求1所述的一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 所述夹板
(21)与电动伸缩杆(20)一端 固定连接, 所述夹板(21)内壁设置有防滑垫(22), 所述防滑垫
(22)为橡胶材质。
3.根据权利要求2所述的一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 所述箱体
(1)内壁上设置有防腐涂层, 所述防腐涂层为环氧树脂 涂层。
4.根据权利要求3所述的一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 所述导流板
(5)与移动块(4)固定连接, 所述喷头(6)设置有多个, 多个所述喷头(6)均匀的布置在导流
板(5)上。
5.根据权利要求4所述的一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 所述挡板
(13)为不锈钢金属材质, 所述挡板(13)顶端与伸缩气缸(12)顶端固定连接 。
6.根据权利要求5所述的一种金属靶材表面处理用喷涂装置, 其特征在于: 所述移动块
(4)一侧设置有滑 块(7), 所述箱体(1)一侧内壁上设置有滑轨(8), 所述滑块(7)设置在滑轨
(8)上。权 利 要 求 书 1/1 页
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CN 218132754 U
2一种金属靶材表面处理用喷涂装 置
技术领域
[0001]本实用新型涉及金属靶材加工设备技术领域, 具体为一种金属靶材表面处理用喷
涂装置。
背景技术
[0002]金属靶材就是高速荷能粒子轰击 的目标材料。 有金属类、 合金类、 氧化物类等等,
液晶面板用溅射靶 材,比如平面的铝 靶、 钼靶、 铜靶等,生产过程 都有绑定这道工序,即把靶
材焊接在铜背板上,焊料为铟,铜背板可以重复使用。 绑定这道工序常规方法是,首先把靶
材和铜背板加热,然后用超声波把靶材和铜背板的焊接表面涂铟, 在金属靶材加工过程中
需要用到喷涂设备。
[0003]但是现有的金属靶材表面处理用喷涂装置在使用时, 大多都是通过人工将 金属靶
材固定在喷涂装置内部的固定装置处, 然后通过喷涂设备对固定的金属靶材进行喷涂工
作, 最后通过冷却设备对喷涂后的金属靶材进行冷却降温工作, 其中喷涂装置内部的固定
装置大多都是通过螺栓、 固定板、 弹簧等物品将金属靶材的顶部和底部进 行固定, 固定效果
较为繁琐, 实用性 不强。
实用新型内容
[0004](一)解决的技 术问题
[0005]针对现有技 术的不足, 本实用新型提供了一种金属靶材表面处 理用喷涂装置 。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种金属靶材表面处理用喷涂
装置, 包括箱体, 所述箱体底端两侧设置有支脚, 所述箱体内部一侧设置有第一电机, 所述
第一电机输出端设置有螺纹杆, 所述螺纹杆上设置有移动块, 所述移动块一侧设置有导流
板, 所述导流板上设置有喷头, 所述箱体内部顶端一侧设置有漆体罐, 所述漆体罐一侧设置
有喷涂机, 所述喷涂机上设置有连接软管, 所述连接软管一端与漆体罐连接, 所述连接软管
另一端与导流板连接, 所述漆体罐顶端设置有进料管, 所述箱体内部顶端另一侧设置有伸
缩气缸, 所述伸缩气缸顶端一侧设置有挡板, 所述箱体内部左侧设置有风机, 所述风机一侧
设置有固定管, 所述固定管一端设置有导风板, 所述导风板一侧设置有 出风管, 所述箱体内
部底端设置有第二电机, 所述第二电机输出端设置有旋转台, 所述旋转台顶端两侧设置有
电动伸缩杆, 所述电动伸缩杆一端设置有夹 板, 所述箱体外 部设置有箱门。
[0008]为了提高夹板 的实用性, 本实用新型改进有, 所述夹板与电动伸缩杆一端固定连
接, 所述夹 板内壁设置有防滑垫, 所述防滑垫为橡胶材质。
[0009]为了提高箱体的使用效果, 本实用新型改进有, 所述箱体内壁上设置有防腐涂层,
所述防腐涂层为环氧树脂 涂层。
[0010]为了提高金属靶材的喷涂均匀性, 本实用新型改进有, 所述导流板与移动块固定
连接, 所述喷头设置有 多个, 多个所述喷头均匀的布置在导 流板上。说 明 书 1/3 页
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专利 一种金属靶材表面处理用喷涂装置
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